晶边检测解决方案
通过UnitySC的全面晶边检测模组能把检测效率最大化
UnitySC 的晶边检测模块可以作为为“独立”检测设备,或与 UnitySC 提供的其他检测设备结合使用。
![Edge picture header 洁净室中的 EDGE 检测工具](https://unity-sc.com/wp-content/uploads/2024/03/Tools-picture-header-EDGE.webp)
探索晶边检测关键能力
使用多个角度光学传感器,UnitySC 的晶边检测设备能检测晶圆的
- 顶部边缘
- 顶部斜角
- APEX
- 底部斜角
- 底部边缘,以便发现颗粒、裂纹和碎片等缺陷。
通过提前发现那些可能在后续工艺过程中破片的晶圆,晶边检测可以减少工艺设备因为破片而造成的停机时间,极大地节约了运营节省。
![PSD_4](https://unity-sc.com/wp-content/uploads/2020/07/PSD_4.png)
UnitySC 的晶边检测模块可以作为为“独立”检测设备,或与 UnitySC 提供的其他检测设备结合使用。
使用多个角度光学传感器,UnitySC 的晶边检测设备能检测晶圆的
通过提前发现那些可能在后续工艺过程中破片的晶圆,晶边检测可以减少工艺设备因为破片而造成的停机时间,极大地节约了运营节省。
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