晶边检测解决方案
通过UnitySC的全面晶边检测模组能把检测效率最大化
UnitySC 的晶边检测模块可以作为为“独立”检测设备，或与 UnitySC 提供的其他检测设备结合使用。
探索晶边检测关键能力
使用多个角度光学传感器，UnitySC 的晶边检测设备能检测晶圆的
- 顶部边缘
- 顶部斜角
- APEX
- 底部斜角
- 底部边缘，以便发现颗粒、裂纹和碎片等缺陷。
通过提前发现那些可能在后续工艺过程中破片的晶圆，晶边检测可以减少工艺设备因为破片而造成的停机时间，极大地节约了运营节省。
UnitySC 的晶边检测模块可以作为为“独立”检测设备，或与 UnitySC 提供的其他检测设备结合使用。
使用多个角度光学传感器，UnitySC 的晶边检测设备能检测晶圆的
通过提前发现那些可能在后续工艺过程中破片的晶圆，晶边检测可以减少工艺设备因为破片而造成的停机时间，极大地节约了运营节省。