WOTAN 是一款全自动的程式自动设定（无需人工参数选择）且高速的AOI设备。

WOTAN 使用全彩光学影像，实现更好的灵敏度和缺陷分类（相比市场上其他典型的使用黑白影像AOI系统）。

WOTAN 能够同步对晶圆的正面和背面进行检测。

一个关键应用是高吞吐量的工艺监控和设备控制，提供易于查阅的即时结果显示选项，能够缩短发现/消除缺陷的时间周期。

WOTAN 可单独使用，也可与晶边检测模块结合使用。