UnitySC 巧妙地使用了“同步多普勒检测” 原理，允许同时检测不透明和透明材料， 清晰区分正面和背面的缺陷。

LightSpeed 能够在化合物/玻璃晶圆和常用于晶圆厂 “工艺设备监控” 的标准硅晶圆上，快速地检测到微小缺陷。

这种二合一的检测能力使客户避免购买两台单独的检测设备。

LightSpeed 可以与其他LightSEE模组/设备（如PSD）共享EFEM。 这降低了成本，同时允许使用两种不同的物理技术，以无妥协的方式检测您的综合问题。