在半导体行业中，精度和细节至关重要，最小的瑕疵都会对最终产品产生重大影响。Unity Semiconductor 的AXIOSPECT 是一款先进的显微镜和半自动光学检测 (Semi-AOI) 系统，为半导体检测流程带来了无与伦比的精确度。了解 AXIOSPECT 如何利用其先进功能增强缺陷检测和记录。
AXIOSPECT 的高级功能
- 采用翻转技术的 Unity IP 宏站：AXIOSPECT 包括一个配备创新翻转技术的宏基站，可提高晶圆处理能力，确保从各个角度进行彻底检测，这对于全面的缺陷分析至关重要。
- 高效的缺陷记录:该系统简化了缺陷记录流程，可快速、准确地记录发现的缺陷。这一功能对于质量控制和确保符合行业标准至关重要。
- 高速双端效应器:高速双端效应器可加快处理和加工时间，同时不影响晶圆的安全性或完整性，这对于在生产环境中保持高产量至关重要。
- 低接触处理和真空吸盘:AXIOSPECT 的处理系统最大限度地减少了与晶片的物理接触，从而降低了损坏的风险。真空吸盘选件可为易损晶片提供额外的安全性，确保晶片被牢牢固定，不会产生任何不必要的应力。
- 全自动亚微米级显微镜:AXIOSPECT 的核心是能够进行亚微米级检测的全自动显微镜。该功能可对晶片表面进行极其细致的检查，识别肉眼无法看到的缺陷。
- 详细的兴趣区和缺陷审查:操作员可以指定感兴趣的区域进行详细检查，重点关注潜在的问题区域。这种有针对性的方法可确保任何缺陷，无论多小，都不会被忽视。
简化集成和运行
用户友好界面和自动化：AXIOSPECT 的设计考虑到了用户的便利性，具有用户友好界面和高度自动化。这种设计减少了对大量培训的需求，使操作员能够更专注于分析而不是手动操作。
光学技术在半导体检测中的重要性
- 亚微米检测的关键:在半导体制造领域，特征尺寸通常达到亚微米级，传统的检测方法无法满足这一要求。光学技术能够放大和照亮复杂的结构，对于准确识别这种尺寸的缺陷至关重要。
- 提高吞吐量和精确度:AXIOSPECT 等光学检测工具有助于加快检测过程，同时提高精度。在竞争激烈的行业中，速度和精度对于保持生产率和质量至关重要。
- 非侵入式检测方法:光学技术提供了一种非接触式检测方式，这对于避免损坏半导体晶片至关重要。这种方法可在整个检测过程中确保晶片的完整性，这对高产量生产至关重要。
- 适应新挑战:随着半导体技术的发展，用于检测半导体的方法也必须与时俱进。光学技术具有很强的适应性，可以根据新的制造挑战和创新进行更新和修改。
UnitySC 的 AXIOSPECT 树立了半导体检测的新标准，将先进的光学技术与精密的工程设计相结合，提供了无与伦比的检测能力。有了 AXIOSPECT，制造商可以期待更高的检测、记录和整体产品质量。使用 AXIOSPECT 改变您的半导体检测流程。联系 UnitySC，了解我们的尖端检测解决方案如何优化您的生产线。请访问我们的网站了解更多信息或安排详细的产品演示。