Axiospect是一款多功能检测设备，用于自动和手动光学检测、复检和量测.

其灵活性包括真空和边缘夹持晶圆传送系统，宏观和微观检查模块以及用于关键尺寸和套刻偏移量的量测选项。

Axiospect是自动光学缺陷检测系统的理想补充，因为它具备基于行业标准的KLARF文件的自动缺陷复查能力。 广泛的可用光学成像技术使其成为生产线缺陷研究和复检的理想工具. 它可以无缝集成到晶圆厂自动化系统中，并包括卡尔蔡司光学元件。