1983

1983年 Fogale Nanotech 公司成立，其产品涵盖半导体行业

2009

2009年 Fogale Nanotech 成立了其半导体业务部门，专注于量测设备

2016

2016年 Fogale的子公司 Nanotech Solutions 收购了 Soitec 的 Altatech，一家专门从事晶圆缺陷检测技术的公司。

Altatech 成为 Unity Semiconductor SAS一部分，旨在成为 Fogale 集团的半导体业务。

UnityS 现在能够提供一整套的工艺控制的设备和软件，服务于先进的半导体制造商

2018

2018年 UnityS 收购了 HSEB，这是一家致力于半导体应用的光学检测、复检和量测的公司